銀泰直線模組運(yùn)動精度的范圍還沒有明確的定義。這里，暫定義為:在使用運(yùn)動速度時的位置、速度、加速度相關(guān)的精度稱為運(yùn)動精度。
與位置相關(guān)的精度包括真直線度、旋轉(zhuǎn)精度、位置確定精度(直線、分度)、輪廓精度等。使用激光干涉儀測量真直線度和位置精度(直線、分割)時應(yīng)符合上述測量原理。即使測點(diǎn)的運(yùn)動是真直線，但運(yùn)動物體是一個整體的滾動、偏航和俯仰，因此有必要用線性模量作為一個整體來測量運(yùn)動物體。
輪廓精度尤其是具有代表性的圓弧輪廓精度，在機(jī)械加工中的重要工程。通過測量機(jī)械做圓的半徑為填充之間的圓周運(yùn)動，讀出從隱藏的波紋腳處得到的誤差，并拿到電腦上進(jìn)行處理。最小單位的讀數(shù)精度為0.1 (xm，測量精度為0.5，用這種方法，可測量精度高，能量高，并可診斷運(yùn)動誤差的原因。但這只是以圓弧輪廓精度為對象，對任意形狀的運(yùn)動精度的測定必須使用干涉儀。
一般情況下，任何形狀的軌跡都可以通過運(yùn)動得到?，F(xiàn)在用激光干涉儀每隔一段時間測量三軸的運(yùn)動，最后合成數(shù)據(jù)。旋轉(zhuǎn)精度可以通過使參考球或軸接近真圓旋轉(zhuǎn)和非接觸來獲得其位移。球可以從徑向和軸向測量精度。參考球的精度(誤差1/10)是測量系統(tǒng)(原理3)的5 - 10倍，但在實(shí)際中很難得到高精度的球。
速度有激光多普勒測定儀、激光多普勒振動儀等。加速度一般由加速度計(jì)測量，一般由加速度放大器測量，加速度放大器是安裝在運(yùn)動物體上的壓電元件。
